一、超纯水设备中为什么会有气泡
超纯水设备制取超纯水用的源水，无论是以自来水为源水，还是地下水为源水，或者以纯水为源水。源水中总会溶有气体。这些气体可以大致分为：可反应性气体，不反应性气体，消毒副产物。反洗工艺简介反渗透设备因为一些产品使用的材料强度不够及其耐侵蚀性差，造成横轴断裂等设备故障，并且膜的种类不同对进水水质要求也有所不同。这些气体大多通过自然溶入和人工加入的方法溶于水中，显然，起纯水中是不能含有这些气体的，特别是可反应性气体和消毒副产物。
反渗透水处理设备的用途及预处理的考虑
反渗透系统的使用，特别是应注意的原水预处理。为了避免反渗透系统的堵塞，水应进行预处理，消除水中的悬浮物，降低水的浑浊度;此外，它应消毒以防止微生物生长的成长。由于原水中悬浮泥沙的高要求，通常采用水质检测的水质。这种方法基本上是一个用于反渗透系统中的水悬浮固体的测定的情况下。在有些半导体厂中，也有用“阴床十阳床”代替电去离子装置的，主要根据原水水质和产水水质对弱电解质的要求而定，这里主要探讨常用的电去离子工艺。水进入反渗透设备的污染指数不超过5，推荐值一般小于3。
反渗透设备
反渗透是一种借助于选择透过（半透过）性膜的工力能以压力为推动力的膜 分离技术，当系统中所加的压力大于进水溶液渗透压时，水分子不断地透过膜，经过产水流道流入中心管，然后在一端流出水中的杂质，如离子、有机物、***、病毒等，被截留在膜的进水侧，然后在浓水出水端流出，从而达到分离净化目的。反渗透设备应用膜分离技术，能有效地去除水中的带电离子、无机物、胶体微粒、***及有机物质等。是高纯水制备、苦咸水脱盐和废水处理工艺中的较佳设备。反渗透膜介绍反渗透膜是为了实现水溶液的反渗透现象，采用特殊工艺人工合成的一种半透膜。广泛用于电子、食品、轻纺、化工、发电等领域。
超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体，使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器 活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器 超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分，主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制，一般gt;5，不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1)，能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大，而“粗过滤器 超滤装置”占地而积小，节约了基建费用。在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器 活性炭过滤器”。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比，超滤装置的更换比较方便。(4)近年来，由于超滤技术的不断成熟，系统能够稳定安全地运行，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，在一次性***和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
