这种观点认为在研磨时，表面发生了级性变形。即在工件与研具表面接触运动中，粗糙高凸的部位在摩擦、挤压作用下被“压平”，填充了低四处，而后形成极低的表面粗糖度。住然而在研磨极软材料(如铅、锡等)时，产生塑性变形是有可能的;而用软基体抛光硬材料(如光学玻璃)时，则很难解释为塑性变形。实际上，研磨抛光加工，工件在研磨前后有质量变化，这说明不是简单的压平过程。
3.加工范围广：主要加工各种圆柱形孔：光通孔。轴向和径向有间断的孔，如有径向孔或槽的孔、键槽孔、花键孔。盲孔。多台阶孔等。另外，用专用研磨头，还可加工圆锥孔，椭圆孔等，平面研磨抛光加工厂，但由于研磨头结构复杂，不锈钢研磨抛光加工厂，一般不用。用外圆研磨工具可以研磨圆柱体，但其去除的余量远远小于内圆研磨的余量。几乎可以加工任何材料，特别是金刚石和立方氮化硼磨料的应用。同时也提高了研磨加工的效率。
平面研磨工程中，装有击钉端面的夹具和研磨盘表面很好的贴合在一起，研具沿贴合表面作复杂的平面研磨运动。研具和密封圈表面间放有研磨液，当研具与密封圈表面相对运动时（公转、自转），研磨液中的部分磨粒在研具与密封圈表面间滑动或者滚动，切去密封圈表面上很薄的一层平整度不平整的表皮。密封圈表面上表面上凸峰部分首先被磨去，然后渐渐的达到要求的几何形状。
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