：
1、与混合组成潘宁气体，充填在荧光灯中，可降低灯的启动电压；
2、充于冷阴极放电管中，可获得橙红色的发光，用作指示灯；
3、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线（74.4nm和73.6nm）
氙：
1、充入HID氙灯中，在启动后立即获得全部光输出的80%，放电时发射白光，色温5500K；
2、可制成卤素混合气体填充卤素灯；
3、在微波激发下，发射单色的真空此外谱线（14.7nm）
1、与混合，充填在荧光灯中，可提高光效，但启动困难；
3、85同位素气体可填充入金属卤化物灯，帮助启动；
4、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线（123.6nm和116.5nm）
半导体工业用的气体统称电子气体。即使设备在组装完毕之后仍需用高纯氮气冲洗以及抽真空干燥处理，但是，附着在设备的内壁上抑或是灭弧室元件以及拉杆等部件的水分也不会被全部排除干净。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。制氮机是以空气为原料，以碳分子筛为吸附剂，运用变压吸附原理，使充满微孔的碳分子筛对气体分子有选择性的吸附来获得纯度为98～99。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开国内市场。
电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
氦气在半导体、液晶面板和光纤线制造中起着重要作用，可实现零部件的快速冷却，从而提高生产率，还能控制热传递速率，以改善生产效率并减少缺陷；此外，氦气还可在生产过程中充当载运气体。
作为磁共振和超导磁体的理想冷冻气体，氦气可实现-451华氏度的深冷温度，有效获取内脏和***的高分辨率图像。
氦气在电弧温度条件下的惰性使其成为铝、不锈钢、铜和镁合金等高导热性材料焊接的理想气体，还可用作热处理过程中的淬火气体以及熔炉气体，提升零件耐性和质量