特种气体的作用：
1、做保护介质，通常使用氦气、ya气、氮气用于高纯净、超绝缘、超导等。
2、检测及比较介质，通常会根据使用的仪器配制标准气体，用于质谱仪、气相色谱仪、核测、报警、检漏、医1疗、电子、原子吸收、化学检验等。
3、能量介质，主要用到氢气、氧气等，是航空航天的重要燃料。
4、切割、焊接的介质，应用于电光源工业、玻璃制造、机械加工、航空航天1、基础建设等。
特种气体系统：简单供气系统
由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（lt;50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，***性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别***气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。特气管道试压1、管道试压前应全1面检查、核对已安装的管子、管件、阀门、紧固件以及支架等，质量应符合设计要求及技术规范的规定。
特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子。特种气体的运输算出运输量关于高压气体的运输规则，根据其运输量而有所不同。
在半导体制造业中，可以把气体分成大宗气体和电子气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积，扩散等过程中使用的各种化学气体，如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等，又可称为电子特种气体。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体。特种气体管道的施工施工管理和现场施工的几个注意点现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录，包括管工弯管的质量，尺寸是否准确，管道是否有划伤，弯头是不是压得太扁。
