稳定性是考察传感器在一定时间范围内是否稳定工作的主要指标，而导致传感器不稳定的因素，主要包括温度漂移和内部应力释放等因素，因此增加温度补偿、增加时效处理等措施，对提高稳定性是有帮助的。
根据时间段的长短不同，稳定性可以分为短期稳定性和长期稳定性，当考察时间过短时，稳定性与重复性相接近，因此稳定性指标主要考察长期稳定性，具体时间的长短，依据使用环境和要求来确定。
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震动传感器利用敏感元件的等效RLC电学模型，可以在同一环境下对加速度传感器进行系统设计，从而优化微机电系统，能够方便研究其振动位移响应，对敏感元件的机械参数进行优化设计，固有频率的设计非常重要。
震动传感器满足待测加速度的频率远远小于固有频率的条件时，可以使可动电极上的输出电压与外界加速度呈线性关系，可动电极上的输出电压再通过后续的读出电路读出，使传感器输出的电压与待测加速度成线性的关系。
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电容式加速度振动传感器需要一个内置电路它具有两种功能：它允许电容变化对测量静态和动态事件有用，并将变化转换为与读出仪器兼容的电压信号，电容式加速度振动传感器通常包含两个电容，调制电路，增益和滤波。
到目前为止描述的加速度振动传感器可以被分类为“开环”设备，与加速度成比例的地振质量的偏转直接使用压电，压阻或可变电容技术测量，与该质量位移相关联的是由于挠曲中的非线性导致的一些小但有限的误差。
伺服加速度计是“闭环”设备，它们将检测质量的内部偏转保持在较小的极限，质量保持在“平衡”模式，几乎消除了由非线性引起的误差，弯曲系统可以是线性的或下垂的，与反馈电流成比例的电磁力将质量保持在零位，当质量试图移动时，电容传感器检测其运动。
