与常规热处理相比，真空热处理加工技术可同时实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。
其实，真空热处理加工技术在国外应用的较早，高频热处理供应商，美国和日本在1968年，先后研制出真空淬火油和水剂淬火介质，从而，高频热处理价格，真空淬火技术在热处理行业得到迅速发展，从单室炉发展到了多组合机群，从一般的真空淬火发展到高压气淬、真空水剂淬火、真空渗碳、真空碳氮共渗及多元共渗等。
真空热处理加工是和可控气氛并驾齐驱的应用面很广的无氧化热处理技术，也是当前热处理生产技术***程度的主要标志之一。真空热处理不仅可以实现钢件的无氧化、无脱碳，高频热处理，而且还可以实现生产的无污染和工件的少畸变，因而，它还属于清洁和精密生产技术范畴。目前，它已成为工模具生产中不可替代的***技术。据国内外经验，工件真空热处理的畸变量仅为盐浴加热淬火的三分之一。研究各种材料、不同复杂程度零件的真空加热方式和各种冷却条件下的畸变规律。
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