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对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室),由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准,采用0.45m/s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,为了节能,也都在探求降低速一风速的可行性。
在我国,《空气洁净技术措施》和lt;洁净厂房设计规范))都是这样规定的
垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s
水平平行流(层流)洁净室≥0.35 m/s
研究表明以上规定基本上满足控制污染的要求,但认为应区别不同情况分出不同的档别,更能体现节能的目的。
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1选用气密性良好,且依温度变化变形小的材料;墙壁内装需加轻钢龙骨及保温材时,要采用非燃烧材或难燃烧料;
2 洁净室房间的内墙及吊顶表面,应平滑、光洁、不产生微纹、避免反光、耐腐蚀,在墙壁和底板的拐角做成圆滑形。轻钢龙骨做隔墙,要有防止冲撞措施;
3 关于洁净房间的底板,应整体良好、平滑,具有耐磨耗性、耐腐蚀性及耐冲击性。另外,车间厂房净化工程,应有防静电及易清洗除尘的功能;
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我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初,在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的设计、建造发展很快,相继建成一批洁净厂房,并研制成功100级单向流洁净室;与此同时,车间厂房净化工程报价,洁净厂房用设备和材料,如过滤器,洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功,车间厂房净化工程费用,并投入生产,虽然制造质量和某些工程指标与国际水平尚有差距,但已能满足国内部分需求。由过滤器、净化设备和围护结构(墙板、顶棚.地面)组装而成的装配式洁净室研制成功。到20世纪70年代末我国洁净室设计、建造和洁净工程的发展走向成熟阶段。
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