供应台式匀胶机 中国半导体行业协会推荐产品
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匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍: 匀胶机(英文名:Spin Coater)
行业俗称:匀胶台,甩胶机,涂胶机,镀膜机,涂层机
品牌
SIYOUYEN
型号
KW-4A型
产品概述:
KW型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.
匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是KW型均匀胶机的特点.
该机在这方面采取了许多措施:
(一)该设备采用美国***技术.
(二)定子和转子分开供电.定子用稳定电源供励磁电流,转子用开关电源调速,它比可用控硅调速优越得多,转速在1000~8000转/分范围内非常稳定.
(三)本匀胶机有两个转速.在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转.两种转速及相应的时间分别可调.
(四)本匀胶机测速采用光电的办法,在光电测速盘的边上有三个缺口,(反射带和吸收带)分布于盘的周围,盘边的下面安装有光电开关,光源照到光电经反射到***,产生光电脉冲,测速盘旋转一周,产生三个脉冲.闸门由秒脉冲电路产生,周期为两秒.当马达旋转时,如果计时器在2秒内计的得数是n,则每分钟应该转了n/(2x3)=n/6转,每分钟旋转(n/6)x60=10n转.故计数器就是每分钟转速,只不过差一个数量级.
(五)"吸片"采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率.
(六)匀胶机的定时功能由时基电路556来完成,把556按单稳形式连接,改变RC常数,就可以改变两个匀胶时间.
(七)智能型调节匀胶时间,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟.
(八)在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度.
(九)匀胶机配真空泵使用.
性能指标:
1,特点是双转速匀胶机,两档转速及匀胶时间分别连续节,在启动后先低速运转,经几秒钟后转换到高速运转.
Ⅰ档 调速范围:500-2500转/分 Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒
Ⅱ档 调速范围:1000-8000转/分 Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒
2,LED数字显示,转速稳定度:±1% ,胶的均匀性:±3% .
3,电源电压:220V/ 50Hz
4,电机功率:40W
5,适用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶.
6,真空泵抽气速率 ≥60升/分
7,体积小,重量轻,操作简便
仪器尺寸:210×220×160 mm
客户参考:
美***西法尼亚州大学,加拿大戴尔豪斯大学,加拿大皇后大学,香港理工大学,香港科技大学,香港城市大学,北京大学,清华大学复旦大学,东南大学,北京工业大学,江苏工业大学,上海大学,北京科技大学,电子科技大学 ,中国地质大学,厦门大学,天津大学,贵州大学,西南师范大学,香港电讯学院,陕西师范大学,北京石油化工学院,重庆西南大学,中国地质大学,美国软物理实验室,中国石油大学,***兰州化学物理研究所固体润滑******实验室,北京理工大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工程大学,武汉大学,西安交通大学,四川大学,四川师范大学,同济大学,天津大学,西南交通大学,石家庄无线电二厂等。
***上海硅酸盐研究所,中国振华集体,***纳米中心,中天电子,韩国KIM公司,天美国际公司,等***高校,及半导体微电子行业.。
主要市场
中国、香港、韩国 、新加坡、美国 等***
产品用途: KW型匀胶机适合半导体硅片,晶片,基片,导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.
(备注 SIYOUYEN 鑫有研 商标注册号 4925464 请认准鑫有研品牌)