KW-5型 匀胶机 (spin coater)
1,特点是双转速匀胶机,两档转速及匀胶时间分别连续节,在启动后先低速运转,经几秒钟后转换到高速运转.
Ⅰ档 调速范围:500 -1000转/分 Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒
Ⅱ档 调速范围:1000-5000转/分 Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒
2,进口转子,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准.
3,LED数字显示,转速稳定度:±1% ,胶的均匀性:±3% .
4,三相电源:380V
5,电机功率:180W
6,适用:Φ100-Φ200mm(4”~~8”)硅片及其它材料等匀胶.
7,真空泵抽气速率 ≥1200升/分
8,设备尺寸:500×500×460 mm
产品用途: KW型匀胶机适合半导体大型晶圆硅片,芯片,晶片,基片,液晶片等工艺,制版的表面涂覆.
(备注 SIYOUYEN 鑫有研 商标注册号 4925464 请认准鑫有研品牌)