真空溅射镀膜电源|磁控溅射电源|溅镀电源|真空溅镀电源|溅射镀膜电源

应用领域：磁控溅射电源.  溅射电源单元包括电压产生部分，该电压产生部分产生负极输出端和正极输出端之间的溅射电压，还包括电路部分，该电路部分在即使在负极输出端和正极输出端之间产生电弧放电的情况下也能减小溅射电流中的波动。

产品特点

镀膜方式：直流磁控溅射、三靶或多靶磁控溅射镀膜、射频/直流磁控溅射+蒸发，制膜种类： 金属膜、粉体颗粒膜、反应膜、磁性膜、介质膜、氧化膜、有机膜。电源型式：3000W双极脉冲电源、1000W电磁靶电源、2000W双极脉冲源、1000W射频电源、1500W恒流源。只使用直流电源，电子方向始终统一，会导致单一种类电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了，然后磁控溅射将不再继续，所以采用脉冲电源。

产品指标参数：

   电源规格：***大电压：0-300V,0-500V,0-600V,0-700V…0-10000V

***大电流：0-10A,0-20A,0-30A,0-50A,…0-20000A
   基本参数如下：

输入电压 220V50Hz
   输出电流 0-固定电流可调
   输出电压 0-固定电压可调
   稳压精度(%) 〈1%
   稳流精度(%) 〈1%
   过载能力(%) 110%
   整机效率 ≥90%
   功率因数 >0.95

绝缘阻抗 ≥5MΩ
   冷却方式 风冷或水冷皆可
   工作限度 可满负荷操作
   对电网干扰 小,易消除

保护功能 过压、欠压、过热、过流

工作环境 0~40℃  湿度〈95%