稳定性是考察传感器在一定时间范围内是否稳定工作的主要指标，而导致传感器不稳定的因素，主要包括温度漂移和内部应力释放等因素，因此增加温度补偿、增加时效处理等措施，对提高稳定性是有帮助的。
根据时间段的长短不同，稳定性可以分为短期稳定性和长期稳定性，当考察时间过短时，稳定性与重复性相接近，因此稳定性指标主要考察长期稳定性，具体时间的长短，依据使用环境和要求来确定。
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对于环境的某个特征，能够经过多个传感器得到它的多份信息，这些信息是冗余的，而且具有不同的牢靠性，经过交融处理，能够从中提取出更加准确和牢靠的信息，此外信息的冗余性能够提高体系的稳定性，从而能够避免因单个传感器失效而对整个体系所形成的影响。
不同种类的传感器能够为体系提供不同性质的信息，这些信息所描述的对象是不同的环境特征，它们彼此之间具有互补性，如果定义一个由一切特征构成的坐标空间，那么每个传感器所提供的信息只属于整个空间的一个子空间，和其他传感器形成的空间彼此***。
电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，这有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热小，影响稳定性甚微，而电阻传感器有铜损，易发热产生零漂。
电容式传感器结构简单，易于制造和保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。
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