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离子泵的工作原理？
1.产生放电；电子碰撞气体分子发生电离
2.离子注入进入钛阴极
3.钛阴极发生磁控溅射，在阳极上沉积钛膜
4.气体分子在钛表面被吸附，然后被掩埋；爱德华磁悬浮涡轮厂家
离子泵和升华泵的优点有哪些？
不需要前级泵、关闭电源后，仍有抽气作用， 用于维持真空、耐用
离子泵和升华泵有哪些缺点？
饱和效应明显，只能用于小负载、脱气、对气体有选择性，钛的吸附能力决定；爱德华磁悬浮涡轮厂家
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风险性：泵出口做到较大 压力，将会造成中下游管线及机器设备过压。
保护措施：
1、核查装置设计方案时中下游管线和机器设备是不是依照较大 压力设计制作；爱德华磁悬浮涡轮厂家
2、那麼有关的保护措施是不是具有：阀门；其他卸压对策（放空自己、压控）；
3、核查泵设计方案是不是充分考虑物质转变；要是没有考虑到，实际操作要求来避免过压能够传做到作业者。爱德华磁悬浮涡轮厂家
假如泵有备台，将会备泵存有过压的风险性：缘故：备泵通道阀关掉，出口阀没关或漏气时。
