特长
● 洁净的真空
● 腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能
● 能在高吸入压强下运作
用途
◆ 照明、电子、光学、半导体
◆ 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
◆ 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
◆ 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
◆ 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备
特长
● 低温领域下的均热化。
● 低噪音、低振动
● 优良的耐腐蚀性
● 多种自主功能选购件
用途
◆ 活性气体
◆ 非活性气体
◆ 用于产生粉尘工艺中的排气
◆ 作为前级泵使用
◆ 冷冻干燥等水蒸气排气
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵通过安装支架、接管配上控制箱、消音等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。
● 无油、干燥、清洁
● 在低温领域的均热化
● 大抽速，可以缩短排气时间
● 优良的耐腐蚀性
● 低噪音、低震动
◆ 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、
◆ 单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
● YM系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。
● 蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等
● 单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等
● 真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等
● 冰箱、家用空调、***空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等
● 从大气压至5×10-8Pa均可显示
● 3点输出
● 标准的0~10V线性压力输出
● 配备有标准的RS-485通信接口
● 直观的LED显示
◆ 可用于需要显示压力的真空设备；
◆ 可用于需要多个设定点的真空设备；
◆ 可用于需要RS-485通信的真空设备。
● 从大气压至5×10-8Pa均可显示
● 3点输出
● 标准的0~10V线性压力输出
● 配备有标准的RS-485通信接口
● 直观的LED显示
◆ 可用于需要显示压力的真空设备；
◆ 可用于需要多个设定点的真空设备；
◆ 可用于需要RS-485通信的真空设备。
