在滤液出口处形成负压作为过滤的推动力。工业真空过滤器操作真空的压力为(2.5～8.0)×105帕。过滤时悬浮液的温度应低于操作真空下滤液的汽化温度。这种过滤器又分为间歇操作和连续操作两种。间歇操作的真空过滤机可过滤各种浓度的悬浮液。真空过滤器在容器外壳内充满悬浮液。两侧包有滤布的滤叶浸于悬浮液中，滤叶内腔与真空系统连通。
过滤精度高：对水中悬浮物的去除率可达95%以上，对大分子有机物、病毒、***、胶体、铁等杂质有一定的去除作用，经过良好的混凝处理的被处理水，进水为10NTU时，出水1NTU以下；过滤速度快：一般为40m/h，可达60m/h，是普通砂滤器的3倍以上；纳污量大：一般为15～35kg/m3，是普通砂滤器的4倍以上；反洗耗水率低：反冲洗耗水量小于周期滤水量的1～2%；加药量低，运行费用低：由于滤床结构及滤料自身的特点，絮凝剂投加量是常规技术的1/2～1/3。周期产水量的提高，吨水运行费用也随之减少。
精密过滤器液压系统有哪些不足？
(1)不能保证严格的传动比。这是由于液压油具有一定的可压缩性，工作时存在泄漏等因素影响执行元件运动精度的准确性。
(2)在工作过程中存在比较严重的能量损失(如摩擦损失、各种原因造成的流量损失和压力损失，溢流损失)，使得传动效率降低，不适宜作远距离传动。
(3)液压油黏度受温度变化的影响较大，故液压系统对油液温度变化比较敏感，不适宜在很高温度或很低温度的环境条件下工作。
(4)精细过滤器系统工作时，出现故障难以查找原因，故对液压系统故障诊断技术要求较高。
