特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。随着国产化的推进，部分种类的电子特种气体慢慢形成规模效应，占据市场半壁江山。一些常规的特气产品，中国的产能甚至可以满足***范围内的需要，但需清醒的看到，从核心竞争力，质量管理，品牌效应方面来说，我们仍然处于低水平区间。根据有关数据显示，中国特种功能电子气体市场规模逐年增长，仅2016年，中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是，从产业链以及技术层面欧美***占据较好的地位。
气体产品大致可以分为两大类别, 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全隐患。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏,确保系统密闭性。特种气体(Specialtygases) 气体工业名词，是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内***设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。
