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湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,******室净化工程收费,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
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国内外的洁净工程的发展都是随着科学工程的发展、工业产品的日新月异,特别是军事工业、航天、电子和生物等工业的发展而不断发展。现代工业产品生产和现代化科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。微型化的产品如电子计算机,从当初的要在数间房间内配置数台设备组合发展到现在的笔记本电脑,******室净化工程,它所使用的电子元器件从电子管到半导体分离器件到集成电路再到超大规模集成电路,仅集成电路的线宽已从几微米发展到现今的0.1um左右。
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4 以轻钢龙骨作为技术检查空间时,在其空间内敷设维修通道至排出口;
5 洁净房间及人员洁净室的外墙窗户,要有良好的气密性,有防止漏气及结露的功能;
6 洁净房间的门窗形状为简单、平滑、不易留存尘土、容易清扫的结构;不要设门槛;并且为防止因潮气产生***或门窗变形,洁净区域内的门窗不能使用木制品;
7 洁净房间的窗要向空气洁净度级别高的房间方向打开,并为便于一般设备的安装、修理及交换,******室净化工程费用,窗户应有足够的大小;
8 洁净房间安装门窗的内墙面应平整,尽可能不要窗台。如有窗台,为防止存留尘土,且清扫方便,要尽可能做成斜面;
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