线锯切割机
单线切割的金刚石线锯分为往复式金刚石线锯和环形回转式金刚石线锯;
环形回转式线锯是被焊接为环形,可通过导轮实现循环切割。
优点:1.整个锯丝长度均可参与切割;
2.使用寿命长;
3.切割速度高(高达10——60m/s)。
单线往复式金刚石线锯切割机的优点是:结构简单,适应性好,可进行内外表面的切割加工;可以自由改变切割方向及倾斜角度,进行复杂轮廓切割。缺点是锯丝的有效工作强度受限制,锯丝利用率不高,切割速度较低(一般2—3m/s)。
蓝宝石切割
目前人们研究和应用较多的是截面为圆形的单根钢丝的金刚石长切割线和环形电镀金刚石切割线。脉冲电源提供加工能量,加工过程中应用专用的线切割工作液清除加工中产生的碎屑,切割过程中若工件材料过厚时,工作液较难进入和充满放电间隙,会对加工精度和表面粗糙度造成影响。电镀金刚石长切割线是指采用电镀的方法将金刚石磨料固结到金属基体上形成的切割线,常用基体截面形状为圆形,一般为0.12~0.5mm,主要用于硅晶体、蓝宝石切割加工。
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高速线切割设备
树脂金刚石线的特点:
高强度树脂及金刚石相结合带来的强的切割能力,线径及金刚石粒度的配合及控制表现出了更好的硅片表面质量及切割表现,高耐扭曲能力的母线带来了非常低的断线率。但树脂金刚石线的工艺复杂,目前主要依靠进口,其成本较高,因此还得不到广泛的应用。
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高速切割设备
切割行程的设置:
切割行程=样品的长度 5mm。电子科大,川大,交大,瑞仕莱斯等科研院校,从微观分子结构入手,从本质上完善表面处理的原理和工业应用工艺的开发环形金刚石线锯机在磁性材料的切割方面有着绝极大的优势,切割NeFeB,截面63*36mm用时6分钟,进给速度5mm/min。为保证将样品切断,通常会在样品的实际高度之上增加5㎜。当要求对样品进行开槽时,实际切割行程应与开槽深度相同,为保证停止切割时所开槽口深度达到要求,当切割行程达到设定行程时应暂停切割,但主轴带动金刚石切割线继续运行一段时间,从而使样品未达到切割深度的位置继续被切割,直到样品被切割部位每一点都达到所要求的切割深度。