运转中的旋片式真空泵，如果操作不当，往往会出现故障，譬如旋片式真空泵真空度下降，喷油、冒烟、油封处漏油，噪音等情况，和泵内的真空泵油乳化等现象。万一出现这种情况，首先不用恐慌，等停机以后根据故障一一排除。这里介绍几个排除故障的方法。
一、旋片式真空泵冒烟和喷油：指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油。
1、冒烟，如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象，属于正常，如果长时间在冒烟就是不正常了。解决之道：冒烟说明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了，冒烟会结束。涡街流量计
2、喷油，说明进气口外有大量的漏点，甚至是进气露大气。解决之道：封住泵的进气口使泵运转，如果不喷油的话，说明有漏点;排气阀片损坏，检查排气阀片是否损坏，更换坏的排气阀片。
旋片式真空泵噪音：这里指泵的噪音。
1、敲缸，泵运转时发出不规律的响声，似金属敲打金属的声音。这是旋片在击打泵体发出的声音。这种情况主要是配对旋片间的弹簧断或者是收缩或弹出失效造成的。解决之道：打开泵检查旋片弹簧是否损坏。更换好的弹簧。
2、排气阀片噪音，主要是泵的排气阀片破损。解决之道：更换好的排气阀片。
针对真空泵腐蚀的修复方法：
彻底清除表面氧化层，用将表面清洗干净。喷砂、打磨、涂防腐蚀涂层保护，***的安装方式完工。
爱发科NRL系列在低温领域下的均热化，除PVD工艺外，龙其适用于希望提高流量，缩短非气时间的重要工艺腔体的排气。
爱发科真空泵NRL180A特点：
低噪音、低振动、的耐腐蚀性。
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对府蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
