压差调试：为防止外部污染物进入洁净室而使室内洁净度，要求室内压力保持高于外部压力也就是说在洁净室内要求不同洁净度房间必须保持一定压力梯度，这样可在室内维持一定的压差下有效避免洁净室被邻室污染或污染邻室。具体作法是:B-D测试包由100%脱脂纯棉布折叠成长30cm±2cm、宽25cm±2cm、高25cm～28cm大小的布包裹。压差调试的过程为保证洁净室换气次数及设备排风和除尘效果，尽量不改变送风量及设备排风机和除尘风机的风量。主要通过调节回风量和系统排风量进行压差调整。《洁净室设计规范》明确说明洁净室室内压力保持高于外部压力，则称为正压洁净室，反之称为负压洁净室。正压与负压是相对而言，一个洁净室对大气而言是正压洁净室，但对另外一个房间而言可能是负压洁净室。并规定不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差不小于5Pa，洁净区与室外的压差不小于10Pa。
微粒大小的量度通常以粒径表示。要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。但是微粒特别是灰尘粒子并不都具有球形、立方形等规则的几何外形，因此通常所称微粒的“粒径”，并不是指真正球体的直径。在气溶胶及空气洁净技术中，“粒径”的意义通常是指通过微粒内部的某个长度因次，而并不含有规则几何形状的意义。在分析微粒大小的时候，“粒径”就是指的这种含意。 具体地说，粒径可分为两大类： 一类是按微粒几何性质直接进行测定和定义的，如显微镜法确定的粒径。例如，在灰尘采样以后，普通光学显微镜来观测时，使灰尘标本向一个方向移动通过测微尺，此时微粒投影通过这一标尺时，为标尺刻度线所切的两端的长度就代表粒径。
顺序地、无选择地逐粒进行量测，遇尘粒的长径则测其 长径，遇短径则测其短径。人净区内各功能房间应顺人净路线为：非洁净走廊、换鞋、一次更衣室、二次更衣室、缓冲间、洁净内走廊。这里的长径和短径叫做定方向切线径，也称随遇直径，当被测微粒足够多时，结果能正确反映样本尘粒的平均断面。这样，对测定比较方便。但是也有规定只取投影1大线距为微粒直径的，例如美国早年关于洁净室的几个标准就是如此。显然，这就必须在测定时旋转测微尺，而且也不可能精1确确定1大线距位置，所以日本的“洁净室中悬浮微粒测定法”（工业标准JIS）就说明不必旋转测微尺，而只要估测投影1大径，并认为引起的误差很小。对于正方体也有采用对角线为其粒径的，那就要以√3乘以边长；如投影为矩形，可以取长短 边之平均值，也可以仍以短边为准，换算成对角线粒径，下面讲到氯化钠微粒，因其晶体投影一般为方形，即用对角线法确定粒径。
