真空泵的运行与维护防止返油的措施：在泵入口管路上设置放气阀，使入口压力维持在10Pa以上，这样可以减少返流的98%。对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀就能很好的防止返流。在泵的入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸返流蒸汽。
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真空泵不良现象及原因分析：不良现象，电机跳闸。原因分析：经对真空泵进行拆解，发现以下几个问题点：真空泵泵头生锈严重，高真空部位卡死。真空泵运行时，电机跳闸是由于真空泵泵头生锈，转子因生锈而运行受阻。再加上高真空部位排气阀压簧断裂落入泵内，使高真空部分转子卡死，电机带不动转子超载而跳闸。
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无油真空泵故障分析及解决：泵不排液故障分析：灌泵不足；泵轴转向不对；滤网堵塞，底阀不灵；解决办法：重新灌装；调整泵轴转向；停机检查，清楚杂物。
泵排液后中断故障分析：吸入管路漏气；灌泵时吸入侧气体未排净；吸入侧突然被***堵塞；解决办法：检查吸入管连接处及机械密封的密封情况；重新按要求灌泵；停机清理杂物。
流量不足故障分析：管路漏气，漏液；阻力损失增加；叶轮磨损，堵塞，腐蚀；解决办法：重新灌装；调整泵轴转向；停机检查，清楚杂物。
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