脉冲激光沉积系统的特点有哪些？
? 超高真空不锈钢腔体
? 可集成热蒸发源或溅射源
? 可旋转的耐氧化基片加热台
? 流量计或针阀准确控制气体流量
? 标准真空计? 干泵与分子泵
? 可选配不锈钢快速进样室
? 可选配基片-靶材距离自动控制系统
? 是金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格的较佳设备
以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多脉冲激光沉积的知识，欢迎拨打图片上的***联系我们。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司
普通会员第5年
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公司主营：电阻热蒸发镀膜，磁控溅射，激光脉冲沉积，电子束
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