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双频激光干涉仪
双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。
在激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生f1和f2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。如果是与其它精密零件配合的，先以同轴度评价，如果有超差的，再以装配基准面建坐标系，评价其同心度或是圆心的相对于基准投影的位置度。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。
校验测针时，测量速度应与测量零件时的速度一致。注意观察校验后测针的直径（是否与以前同样配置时的校验结果有较大偏差）和校验时的形状误差。当你用测针去测量零件时，测量控制柜中的软件就会将测针的半径自动加减补偿，计算出正确的数值出来。如果有很大的校验变化，则要查找原因或清洁标准球和测针。重复进行3 到4 次校正，观察其校验结果的重复数据，检查了测头、测针、标准球是否安装牢固，同时也要检查机器的工作状态。
球杆仪使用方法
球杆仪是用于数控机床两轴联动精度快速检测与机床故障分析的一种工具。
它由一安装在可伸缩的纤维杆内的位移传感器构成，该传感器包括两个线圈和一个可移动的内杆，
其工作原理类同于使用LVDT技术的位移传感器。
当其长度变化时，内杆移入线圈，感应系数发生变化，检测电路将电感信号转变成分辨率为0.1μm位移信号，通过接口传入PC机。其精度经激光干涉仪检测达±0.5μm(在20℃)。
