沈阳鹏程真空技术有限责任公司是由集科、工、技、贸为一体的高新技术企业。公司业务部主要分为太阳能发电领域事业部和科学仪器事业部两大部门。太阳能发电领域事业部以致力于光伏发电系统集成研究、光伏设备研发生产为主导。鹏程真空光伏部与国内外多所高校、电力设计研究院、业内企业及相关生产企业建立了战略合作伙伴关系......
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电子束蒸镀系统的特点
* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
* pocket电子枪
* 电子束源和基片遮板
* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能
* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件
* 旋转样品台，提供高均匀性
* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片
* PC全自动控制，具有高度的可重复性
* Labview软件的计算机全自动工艺控制控
* 多级密码保护的***访问设计
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