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湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
光学微电子净化工程解决方案:[2]
净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
1、组合式空气处理机组 冷水机组 高1效送风口
这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机 FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
优点：
A.不需要占用机房面积，布置很灵活的;
B.可以满足空气的洁净度;
C.造价。如此类无尘车间初***约需要40万;
D.送风均匀度好。
3、能源行业 大家对于能源行业的了解可能不是太多，但是，能源行业对于净化工程的要求程度也非常高，比如说光伏发电、电池材料、再生能源以及其他的新能源等。
4、食品行业 为了保证食品的安全性，在生产食品时，卫生情况需要格外注重，这时候，净化车间工程就必不可少了，像饮料及饮用水、烘焙面点、肉制品、粮食豆制品、乳制品、水产渔业等食品的加工包装都需要在洁净室车间内完成。