Parylene(中文称:派瑞林、聚对,或派拉伦)是对一系列独特的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作Parylene,即聚对,是一种完全线性的高度结晶结构的材料。
Parylene用独特的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材外观"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层,它能涂敷到各种外形的外观,包括尖锐的棱边,裂缝里和内外观。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有的电绝缘性和防护性,是现代有用的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
Parylene是独特的聚对(poly-P-xylylene)聚合物系列的通用名称,是一种分子级敷型涂层材料,根据分子结构的不同,可分为Parylene N、C、D、HT、F型等多种类型。Parylene D在较高温度下仍有优良的介电性能和物理机械性能,有较高的稳定性。本文将对其单体制备方法和成膜方法进行简单总结。
Parylene 薄膜的制备聚合过程
常用制备派瑞林的方法是化学气相沉积法(CVD),反应物质在气态条件下发生空间气相化学反应,在固态基体表面直接生成固态物质,进而在基材表面形成涂层的一种工艺技术。派瑞林薄膜制备过程为环状二聚体在高温下两个相连碳键断裂,生成具有活性的二单体,当其从高温环境进入室温环境的沉积室时,不稳定的单体就会聚合成膜。整个制备工艺过程分为三步:单体的汽化、裂解、在基材表面进行附着沉积。
根据Arrhenius外推法的数据,ParyleneC预计可以暴露在持续100℃的空气下10年(100,000小时)。在无氧的气体环境或者在真空状况下,Parylene估计可以暴露在220℃的温度下持续雷同的时间。在所有的情况下,高温降低使用寿命。假如应用的环境要求接近或者超过了这个时间——温度——空气环境,建议用更接近现实使用环境的条件进行悉数的测试。
Parylene可以经过韧化来进步击穿阻抗,进步硬度及改动摩擦阻抗。这是密度和结晶度进步的效果。