臭氧浓度测定的方法：
1、碘量法在实验室内采用化学法准确测定臭氧消毒器所产生臭氧气体或臭氧水所含臭氧的浓度。
2、仪器法（1）紫外线吸收法按照朗伯·比尔定律公式，在臭氧对光波长的吸收系数和样品池光程长度值已知条件下，检测光强度，测算出臭氧浓度值（2）电化学法根据电化学原理，利用被测气体在传感器工作电极和对电极上发生相应的氧化还原反应并释放电荷，通过外电路形成电流，电流大小与气体浓度成正比，从而实现对目标气体的定量测量。
臭氧浓度监测提出：“宜对臭氧浓度进行在线监测，将气体或水中臭氧浓度控制在工艺设计要求的范围内；应对设备工作场所空气中臭氧浓度进行监测，防止臭氧泄漏。有人状态下空气臭氧浓度超过规定的限值时，装置应报警并立即关机。在有人条件下使用臭氧消毒器，使用臭氧气体消毒时应密闭，周围环境中臭氧泄漏量应≤0.1mg/m?；密闭条件下臭氧消毒一个工作周期结束后，密闭室内臭氧气体残留量应≤0.16mg/m?。
按臭氧杀毒仪结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面杀毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧杀毒仪成本远高于开放式。
