电子束蒸发镀膜机安装介绍
安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。上面罩不锈钢装饰板。
机架：碳钢制作，表面喷塑处理，不锈钢面板，支撑真空腔体及真空系统，底下配脚轮，方便移动、***。
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电子束镀膜机介绍
* 带旋转的倾斜沉积
* 行星式基片夹具
* 基片RF/DC偏压
* 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀
* 附加物理沉积源（热蒸镀，磁控溅射）
* 用于反应蒸镀的MFC
* 不同的泵组选择，可升级分子泵为冷泵，前级泵为干泵
* 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹
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电子束镀膜机电源柜的操作
1. 总电源
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延迟开关、电源及保护灯亮，三分钟后延迟 及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
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