真空镀膜厂家真空室形带来的影响
为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响,我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上,其与真空室底壁之间采用点、
线、面活性支撑,以吸收和隔离形变,并设置形变补偿调节机构,在系统抽真,参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量,以使其在真空状态下达到平衡。
为了验证有限元计算的结果,对真空室的形变和补偿进行了测试。一步,将四只千分表***在工作台安装基点的真空壁外侧,
当真空室由大气抽到真空时,记录各千分表的变化量,经一体化处理后为用激光自准直仪调整i形变补偿。
?真空镀膜加工金属真空镀膜加工
真空镀膜加工已有200年的历史。在19世纪可以说一直是处于探索和预研阶段。探索者的艰辛在此期间得到充分体现。1805年, 开始研究接触角与表面能的关系(Young)。1817年, 透镜上形成减反射膜(Fraunhofer)。1839年, 开始研究电弧蒸发(Hare)。开始研究真空溅射镀膜(Grove;Pulker)。1857年, 在氮气中蒸发金属丝形成薄膜(Faraday;Conn)。 1874年, 报道制成等离子体聚合物(Dewilde;Thenard)。1877年,薄膜的真空溅射沉积研究成功(Wright)。1880年, 碳氢化合物气相热解(Sawyer;Mann)。1887年, 薄膜的真空蒸发(坩埚) (Nahrwold;Pohl;Pringsheim)。开始研制形成减反射膜的化学工艺。研究成功四氯化钨的氢还原法(CVD); 膜厚的光学干涉测量法(Wiener)。
真空镀膜厂家 真空镀膜加工镀铝怎样镀厚
由于真空镀铝薄膜上的镀铝层非常薄,因此不能用常规的测厚仪器检测其厚度,常用的检测方法如下:
①电阻法。电阻法是利用欧姆定律来对镀铝层的厚度进行测量,根据欧姆定律: R=pXL/S 单位面积镀铝薄膜的电阻值越小,其镀铝层的厚度越厚,反之则越薄。
电阻法检测镀铝层的厚度用表面电阻来表示,单位是Q,数值越大说明镀铝层厚度越薄,一般真空镀铝薄膜的表面电阻值为1.0~2.5Q。