真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态，真空度是指处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
吸气剂离子泵它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。(1)蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。(2)溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。低温泵利用低温表面捕集气体的真空泵
真空泵真空度不高的原因分析
(1)真空泵温太高，1.被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内，2.吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，3.真空泵冷却水流不够。应加大冷却水流量，4.装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。
(2)真空泵油有问题，1.油位过低。应加足油量到油标中心线，2.油被沾污，油质变坏。应更换新油，3.油的牌号不符。应换规定牌号的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。
(3)真空泵本身漏气：1.密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈，2.气镇阀垫圈损坏：或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀；3.排气阀片损坏，密封不好。应更换气阀片；4.真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。
