高温炉的注意事项
1、除了做实验外,不要停留在高温炉管区。
2、实验工作完毕时,若无人继续使用,请关特殊气体,保留氮气流动, 炉管保持在初始温度,并查看是否有其它电源该关而没有关。
3、石英玻璃制品请小心使用,以免破或裂,引起严重割伤。
4、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。
5、一旦发现有妨碍安全之事物时,请立即通知有关人员(技术员等)。
6、破晶片、滤纸、棉花棒.......等,请勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板渍水。
高温炉工作流程介绍
使用高温炉要严格按照安全操作流程来做,确保人员的安全和避免炉体,工件的损坏。
一、 工作前的流程
1、 检查炉内是否干净,清理杂物,确保炉内干净。
2、 检查炉壁,炉底板是否有破或裂等损坏。
3、 电阻丝和热电偶引出棒的安装紧固情况,检查仪表是否正常。
4、 检查电阻炉炉门开关是否灵活。
5、 确保各项正常以后,开始放工件。
高温炉操作规程大致可分为以下几点:
一、装料
1.将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆断定其方位,五大操作规程顺次装入硅料。
2.拔出限位杆,输送车开关打至 IN,顺次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并断定输送车会到初始方位。
3.装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门
二、 抽气
1.查看炉门是不是关紧,真空体系是不是密封
2.置 DP 按钮于 DP ON,翻开干式真空泵,翻开真空计开关 P1G1,翻开干式真空泵 。阀门,开端抽气测验走漏率,
3.当压力表指示为 50Pa是封闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,翻开Ar阀门充Ar(20L/min)。
4.加热 先翻开水环泵 再按 RUN,开端技术加热。
高温炉的运用细则
首先就是要注意好对于自身的保护,一般高温炉在工作的时候是会产生很高的热量的,我们千万不能触碰到设备,否则会烫受伤自己的,于是我们在工作的时候要尽量远离设备,或者穿上相应的防护服再操作,这样起到的保护效果会好一些.其次为了保护高温炉的工作,我们会使用到氮气作为保护气体的,这样就可以确保设备在工作的时候不会受到什么损坏,我们在运用高温炉的时候一定要保证氮气流通顺利.