较高允许浓度：中国，未制定标准；美国，ACGIH未制定标准。
工程控制：密闭操作，提供良好的自然通风条件。
呼吸系统防护：一般不需要特殊防护，但当作业场所空气中氧气浓度低于18%时，必须佩戴空气呼吸器或长管面具。
眼睛防护：一般不需要特殊防护。
手防护：戴一般作业防护手套。
身体防护：穿一般作业工作服。
其他防护：避免高浓度吸入。
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高纯***在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯***也可作为色谱载气。在金属冶炼方面，氧、***吹炼是生产钢的重要措施，每炼1t钢的***气消耗量为1～3m3。此外，对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼，以及电子工业中也需要用***作保护气。
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***自身***，但在高浓度时有窒息效果。当空气中***气浓度高于33%时就有窒息的风险。当***气浓度超过50%时，呈现严峻症状，浓度到达75%以上时，能在数分钟内去世。液***可以伤皮肤，眼部接触可引起炎的症状。高纯***气、超纯***气是现在工业上使用很广的稀有气体。它的性质非常不活泼，既不能燃烧，也不助燃。在金属锻炼方面，氧、***吹炼是出产钢的重要措施，每炼1t钢的***气消耗量为1～3m3。
