半导体无尘车间|精密电子洁净车间|济南兰桥净化
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无尘车间的安全要求|济南兰桥净化
一、无尘室须知 1. 进入无尘室前,必须知会管理人,并通过基本训练。 2. 进入无尘室严禁吸烟,吃(饮)食,外来杂物(如报章,杂志,铅笔...等)不可携入,并严禁嘻闹奔跑及团聚谈天。 3. 进入无尘室前,需在规定之处所脱鞋,将鞋置于鞋柜内,外衣置于衣柜内,私人物品置于私人柜内,柜内不可放置食物。(2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流。 4.进入无尘室须先在更衣室,将口罩,无尘帽,无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整齐,再经空气洗尘室洗尘,并除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。 5. 戴口罩时,应将口罩戴在鼻子之上,以将口鼻孔盖住为原则,以免呼吸时污染芯片。 6. 穿著无尘衣,无尘帽前应先整理服装以及头发,以免着上无尘衣后,不得整理又感不适。 7. 整肃仪容后,先戴无尘帽,无尘帽的穿戴原则系: (1)头发必须完全覆盖在帽内,不得外露。 (2)无尘帽之下摆要平散于两肩之上,穿上工作衣后,方不致下摆脱出,裸0露肩颈部。 8.无尘帽戴妥后,再着无尘衣,无尘衣应尺吋合宜,才不致有裤管或衣袖太短而裸0露皮肤之虞,穿衣时应注意帽之下摆应保平整之状态,无尘衣不可反穿。 9. 穿著无尘衣后,才着鞋套,拉上鞋套并将鞋套整平,确实盖在裤管之上。 10. 戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染),戴上手套后,应将手套之手腕置于衣袖内,以隔绝污染源。 11. 无尘衣着妥后,经洗尘,并除尘毯,方得进入无尘室。 12. 不论进入或离开无尘室,须按规定在更衣室脱无尘衣,不可在其它区域为之,尤不可在无尘室内边走边脱。 13. 无尘衣,鞋套等,应定期清洗,有破损,脱线时,应即换新。 14. 脱下无尘衣时,其顺序与穿著时相反。 15. 脱下之无尘衣应吊好,并放于更衣室内上层柜子中;鞋套应放置于吊好的无尘衣下方。 16. 更衣室内小柜中,除了放置无尘衣等规定物品外,不得放置其它物品。 17. 除规定纸张及物品外,其它物品一概不得携入无尘室。 18. 无尘衣等不得携出无尘室,用毕放置于规定处所。 19. 口罩与手套可视状况自行保管或重复使用。 20. 任何东西进入无尘室,必须用洒精擦拭干净。 21. 任何设备的进入,请知会管理人,在无尘室外擦拭干净,方可进入。 22. 未通过考核之仪器,禁止使用,若遇紧急情况,得依紧急处理步骤作适当处理,例如关闭水、电、气体等开关。 23. 无尘室内绝0对不可动火,以免发生意外。
GMP车间净化施工|实验室设计施工|济南兰桥净化
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洁净室测试准则|济南兰桥净化
证明洁净室工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求:
1.洁净室的送风量充足,足以稀释或消除室内产生的污染。
2.洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到0低程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。
3.洁净室的送风不会显著增加室内的污染。
4.室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。
如果洁净室达到了上述这些准则的要求,就可以测量其粒子浓度或微生物浓度(必要时),以确定其达到了规定的洁净室标准。
洁净室的测试:
1.送风量与排风量:如果是紊流洁净室,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室,则要测量其风速。
2.各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测:(1)各区间的压差正确;(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
3.过滤器检漏:对过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿过:(1)损坏了的过滤器;(2)过滤器与其外框间的缝隙;(3)过滤器装置的其他部位而***室内。
4.隔离检漏:这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料***洁净室。
5.室内气流控制:气流控制测试的类型要依洁净室的气流模式——是紊流还是单向流而定。若洁净室气流为紊流,则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流洁净室,则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。
6.悬浮粒子浓度和微生物浓度:如果上述这些测试满足要求,则后对粒子浓度和微生物浓度(需要时)进行测量,以便验明其符合洁净室设计的技术条件。
7.其他测试:除了上述这些污染控制方面的测试以外,有时还必须进行下述一项或若干项测试:
●温度●相对湿度●室内加热与冷却容量●噪声值●光照度●振动值