企业资质

善测（天津）科技有限公司

普通会员第6年

企业等级：普通会员

经营模式：其它

所在地区：天津天津

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手机号码：18920393056

公司官网：www.smartmens.com

企业地址：天津市西青区海澜德产业园A4-2层

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企业概况

善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于2015年7月份成立，公司注册资本500万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器****实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的工程师共同创立，**从事**传感器和监测系统的......

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纳米级位移测量技术应用优选商家

产品编号：1996812746 更新时间：2020-10-22

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善测（天津）科技有限公司

主营业务：仪器仪表,电子产品,电子元件,五金交电
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公司地址：天津市西青区海澜德产业园A4-2层

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善测科技 18920393056

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产品详情

　提高分辨力一直是光刻技术发展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，缩短波长是提高分辨力的有效手段。每次更短波长光刻的应用，都促使集成电路性能得到极大提升。

　光电所采用三角法测量，Z向位移转化为标记光栅与检测光栅横向位移ΔX，通过两光路的信号比对横向位移量ΔX进行检测，实现检焦。该方法的两光路结构设计相同，两信号相位相差，利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动的影响，实现了纳米级的检焦精度。严格意义上的多轴伺服系统同步涉及到复杂的数控和伺服系统接口规范的制定。

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地址：天津市西青区海澜德产业园A4-2层主营产品：仪器仪表,电子产品,电子元件,五金交电

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