半导体/电子厂房洁净室的控制
根据半导体/电子行业的洁净控制要求来看,控制的主要污染源为环境含尘量,在洁净技术方面,可采取三种综合性措施:
1、空气过滤
一般的洁净室空气处理系统采用三级处理过程。级——粗效过滤器,用于保护空调器不受污染;第二级——采用中效过滤器保护风管的洁净度;第三级——采用过滤器保证高质量的空气直接进入洁净室。
2、 采用适当的气流类型
气流类型一般有两类,一类为单向流,常称作层流;另外一类为为非单向流,也称作紊流;可根据不同的需求,进行不同的控制。
3、保证各室之间的压差
一般来说,小于5Pa的压差是毫无意义的,因为难以阻止空气回流;6、洁净度与换气次数房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。压差大于20Pa(隔离工艺处外)是不合理的,因为并不能改善洁净室的特性,反而形成浪费,故而,压差在5~20 Pa范围内即可,不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区的压差应不小于5Pa,洁净区与室外的压差,应不小于10Pa,特殊要求除外。
另外,通风空调系统在洁净室工作中起着关键的作用,决定着系统功能与是否与设计的生产相符合,具体设计应按具体情况在小的***和运行费用的前提下编制方案。所有的运行控制皆应按照上述四个方面进行。
济南兰桥净化工程有限公司
为净化无尘车间-生物安全实验室用户设计方案时,采用工业化、标准化的运作理念,将多年的净化工程项目进行归纳整理,就是将复杂的净化无尘车间-生物安全实验室项目进行模块化,便于恰当的根据用户的不同情况和特点以及需求,进行了更优化的组合。在提供的方案中采用因地制宜的做法,把建筑装修、配电、空调、消防全都做成标准化的方案,制定具有针对性的方案设计。这些分析室大都由几个小室组成,组成房间的大小和数量随各类仪器而异。
仪器分析实验室的地板要求|济南兰桥净化
4.1 地板
小型普通的仪器分析室采用一身的固定地板即可满足需要,但对于大型精密仪器分析实验室,例如X荧光光谱室、质谱室、离子控针室等实验室因电缆多,管线复杂,需要采用架空地板。当采用下送上回送风方式时,也可利用架空地板下空间作为送风静压箱。一般地板构造有以下几种。无菌生产车间对人员的要求只有经过批准,经过专门培训的人员方可进入无菌操作区内,无论何时均需遵守这个原则。
(1)护罩式当电缆线数量很少,可以结扎成束,并可作明线配线时,为防止碰坏电线,可在电线上加一层护罩,保护罩高度以不妨碍机柜门扇开关为宜。
(2)地沟式公在电缆通过的地板下做沟,沟的尺寸一般净宽250mm,深150mm,即可,沟盖板划块后做成活动盖板,安上少数铝制平面拉手,以便开启。
(3)活动地板又称装配式地板,由各种规格型号和材质的面板块、可调支撑、横梁、缓冲垫等组成。活动地板架空辅设在仪器室的楼地面上作安装设备、敷设纵横交错的各种管线、电缆及空调静压箱的空间用。
活动地板应机械性能优良、质量轻、强度大,表面平整,尺寸稳定,互换灵活,装饰性及质感良好,并能满足防潮、阻燃、防腐等要求。活动地板又分防静电型和非防静电型两种。
活动地板使用要求和特点。
①不论房间形状、面积如何,都能方便而迅速地装配。
②能自由接近电气连接线和风管,便于敷设和维护。
③承重能力≥800kg/m2。
④满足防火要求。
⑤能使静电通泄至地和反射电磁辐射。
⑥地板的可卸板能互换,并有较高制作精度,以便利用地板下空间作空调静压箱时达到所需密封性。
⑦板面无噪声、耐磨,既可擦洗又可干擦(用吸尘器)。
⑧借助可调支撑找平地面的不平度。