1现代化的工业生产对空气湿度的重视程度日益提高，要求也越来越高，对于电子芯片厂房，如果湿度不能满足要求，将会静电，使产品的成品率下降、芯片受损，严重影响企业生产。
本工程为集成电路产品的生产项目，洁净区平面为岛型布置，操作区洁净度为4，5级， 由于生产工艺的要求，对温、湿度的要求很高：温度21℃ ±0．5℃ ，相对湿度40％ ± 3％ ；设备区洁净度为5．5级，无特定温、湿度要求。净化空调系统采用风机过滤单元(FFU) 干表冷器 新风处理机组的型式。操作区为送风区，设备区为回风区。冷源分为两种：低温冷冻水(0℃～5 oC)， 中温冷冻水(12℃～16℃)；热源为38℃～32℃ 的热水， 由热水锅炉和带热回收的冷冻机组提供。洁净区的温度由干表冷器控制，相对湿度由新风处理机组控制。等温加湿过程相对于等焓加湿，具有蒸汽分布均匀，无局部过饱和现象。
2 加湿方案选择
由于热源使用热水，没有蒸汽系统， 出于减少系统种类的考虑，首先选择非蒸气的加湿方式。淋水室加湿为等焓加湿，在加湿过程中不仅可以清洁新风，部分去除新风中的灰尘；还可以使新风中的一部分化学物质溶解于水， 降低新风中的化学物质的含量。淋水室全年运行，冬季用于加湿、清洁新风，夏季则起到清洁新风的作用。淋水室的缺点是占用空间大，在新风处理机组中长度为1．9 m；与空气直接接触，易受污染变脏，需要定期排污。新风处理机组由初效过滤器、中效过滤器、一级加热盘管、一级冷却盘管(使用12℃～16℃ 中温冷冻水)、淋水室、二级冷却盘管(使用0℃～5℃低温温冷冻水)、送风机、二级加热盘管、过滤器组成。新风处理机组的组段方式见图1。其特点：采用原装进口增压泵，运行平稳、噪音低、寿命长、安全可靠，确保供水压恒定在0。
淋水室加湿方式，根据工程经验准确控制的精度为±5％，所以对于本工程加湿不能单一由淋水室控制房间相对湿度，还需要通过表冷器对湿度进行控制，在冬季会产生加湿一再除湿的情况出现， 即新风的加湿量要先超过计算值一部分，再通过冷却盘管进行除湿，以达到房间相对湿度±3％的要求。6)不得将含有强酸性,强碱性,油污等液体注入加湿器中进行加湿,要定期清理水箱内部污垢。
房间状态点N， 可温度L， 室外新风点w ；新风量为144 000m3／h，设计3台新风处理机组，单台机组加湿量为240 kg／h。
新风加湿过程：新风先由一级加热器从点w加热至点S’，再通过淋水室进行等焓加湿至点L’，然后由二级冷却盘管进行除湿，由点L’处理至房间温度点L。处理过程见图2。
低温冷冻水的负荷出现在夏季，二级冷却盘管夏季用于除湿的冷量为1200 kW；而冬季除湿的冷量仅为60kW ， 占总能量的5％。根据冷冻机的启动要求，启动负荷必须要超过总制冷量的10％左右，所以在这种冷量负荷条件下，低温冷冻机无法正常启动。若要使低温冷冻机在冬季正常启动，需要冬季低温冷冻水负荷≥ 120 kW，这就需要提高新风的加湿温度，增大加湿量，然后通过冷却盘管进行除湿。由于该方案冷、热能量抵消比较多，不利于节能，所以淋水室的加湿方式不适合本项目。自带过滤系统（PO过滤器，配有5微米、10微米双极水过滤器）自带缓冲水箱实现对水泵的连续降温。
高压微雾加湿器基本功能和应用范围
基本功能：自动进水、缺水断电自动保护、湿度自动控制、时间自动控制、水源过滤、漏电保护、电机过载保护、断电泻压等。喷雾量大，每小时90--900KG，可满足6000m?以下的空间加湿；功耗小，整套设备只需0.75～2.2KW。雾粒超细1--10um，呈烟雾状，降温效果，管路随意走向，降温均匀。自动控制。手动控制随意切换，时间控制调节，实现无人化管理。应用回流新技术，避免管道积水、沉淀、长苔、保障喷头喷雾效果，喷头陪有止滴器，喷头不滴水。配备多重过滤器和过滤箱，有效净化水源，减少喷头堵塞，增加运行效率。它以改善空气质量，美化环境为依托，以景观、保湿、防尘、降温、造景为目的，在自然园林、环境景观等方面应用广泛。反应速度仅仅需要2秒就能从停机到喷雾，达98%。该系统采用进口柱塞泵，可长时间连续运行，无动力易损部件，在高粉尘环境下照常运行。
应用范围：纺织厂房、卷烟厂房、电子厂房、造纸厂房、印刷厂房、汽车涂装厂房、木材（家具）加工厂房、生产厂房等加湿；发电厂厂房、炼钢厂厂房内等降温；酿造、食品行业高温高湿环境条件的加湿和降温。
农业：冷库、温室大棚、禽类养殖、牲畜养殖、花卉苗圃、食用菌类培养等加湿、降温、消毒等。
喷嘴系统喷嘴系统依照一定的分布规律性分布在***空调系统内，系统分三组交叉式分布，每一组喷雾器量各自为1/7；2/7；4/7，根据阶控阀操纵。喷嘴喷雾器量大，做雾化效果非常的好。每一个喷嘴可选配专利权的雾水扩散器，进一步提高做雾化实际效果。持续操纵型辅机必须选配辅机控制柜和阶控阀。多机系统喷嘴系统內部管路不排序，依据系统的开关量要求启闭所有的喷嘴，固定不动的增湿量輸出。这是因为气体也是由分子、原子组成，当空气流动时分子、原子也会发生接触分离而起电。
