真空泵在工作个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
螺杆真空泵传动部位磨损是常见问题，包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位磨损，传统方法以补焊和刷镀喷涂为主，但两者均存在一定弊端，补焊高温产生的热应力无法完全消除，易造成材质损伤，导致部件出现弯曲或断裂；而电刷镀受涂层厚度限制，容易剥落，且以上两种方法都是用金属修复金属，无法改变“硬对硬”的配合关系，在各力综合作用下，仍会造成再次磨损。
真空泵腐蚀形态也比较严重，可分为腐蚀和局部腐蚀两大类，前者较均匀的发生在真空泵全部表面，后者只是发生在局部，如孔蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、应力腐蚀等。
这里的维修***技巧是采用高分子复合材料对螺杆真空泵实施表面有机涂层防腐，具有非常良好的耐化学性能及优异的力学性能和粘接性能，与传统的压力容器焊接修补相比，具有施工简便、成本低、安全性能和修复效果好的特点。
排气阀浸入油中，以防止空气流入泵中。真空泵油通过油孔和排气阀进入泵腔，使得泵腔内的所有运动表面均由油覆盖，并形成吸入腔与排气腔之间的密封。
为了提高泵的真空极限，除了提高泵体、转子和转子的加工精度，地减小装配间隙和***空间外，的方法是将两台单级泵串联成一台双级泵。
水泵由两个工作室组成。两个腔室串联在一起，以相同的速度在同一方向旋转。A室是B室的前级，A室是低真空级，B室是高真空级。吸入的气体通过高真空级(室B)进入前级，并通过排气阀从泵中排出。前级（A）和单级泵一型，油随时进入泵腔，而高真空级（B）在工作开始时只有少量油，工作一期后，没有油进入泵腔。当泵开端事情，且吸入气体的压力较高时（例如从大气压力开端抽气），气体经B室收缩，压力急增，则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀（1）排出，另一部分则经由前级排出。
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