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在低温条件下加压，使空气转变为液态，然后蒸发，由于液态氮的沸点是‐196℃，比液态氧的沸点（‐183℃）低，因此氮气首先从液态空气中蒸发出来，剩下的主要是液态氧。

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膜法分离空气利用的是渗透原理，即氮气和氧气在非多孔高分子膜内的扩散速率不同。当氮气和氧气吸附在高分子膜表面时，由于膜两侧存在着浓度梯度，使气体扩散并通过高分子膜，接着在膜的另一侧解吸。

总之，由于氮气和氧气的膜分离法的崛起，中小规模的深冷空分装置已开始让出一部分市场。目前，膜法的主要缺点是产品浓度不够高、回收率较低，这要通过改进吸附剂和高分子膜来克服。