无尘车间的节能原则
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。高的效率的设计和高的效率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中 。工人、设备和材料的入口是经过威世半导体(西安)有限公司管理人员同意的。
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层流***室空气净化系统要求
1、Ⅰ～Ⅲ级洁净***室和Ⅰ～Ⅱ级其他洁净用房应当实行空气洁净系统送、回风的动态控制；
2、Ⅳ级洁净***室和Ⅲ、Ⅳ级其他洁净用房可以通过末端为亚过滤器的局部空气净化设备实行动态控制，并设置工程专职人员负责***进行中的计算机动态监控；
3、非洁净区可以利用局部净化设备进行自净（空气净化机）；
4、严禁使用有化学刺激、致ai因素的局部空气净化设备；
5、空气净化系统的送风末端装置应当保证密闭，不***；
6、负压***室和产生致病性气溶胶的房间应设置***的空气净化系统，并且排风口安装过滤器；
7、排放有致病气溶胶的风口应采用密闭装置。
