其他系统
不只是空调系统,净化车间系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,检测标准：
1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是净化车间效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流净化车间工作区的平均气流通度及其均匀性。
2、系统或房间的风量检测。
3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。
4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。
5、气流流型检测。
6、噪声的检测。
7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。
8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明净化车间各表明的振动幅度。
9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测净化车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测净化车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。
10、总风量和新风量的检测。
净化车间烟控原理及设计方式
近几年来，在我国的新竹科学工业园区内陆续发生了多次半导体厂房火灾事故，虽然所造成的人员伤亡不大，但对于财物的损失却很可观，其数目动辄以数十亿乃至百亿元新台币计算，对业界所造成的损伤与危害可想而知。高温浓烟才是造成财损的元凶，但由于土地取得不易，净化车间厂房多向高楼层发展，高智慧的技术人力及昂贵的设备机台集中在厂房内，万一发生火灾意外，损失将数十倍于一般工厂。此外，高科技净化车间厂房内使用许多的性与性气体，例如SiH4、H2、PH3 等，更增加厂房内的潜在危险，若无适当的对策与措施，因此，为了降低火灾发生时人员的伤亡与财物的损失，必须对建筑物进行烟流控制，这一点新加坡已强制规定执行，而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制法规，其目的都是在降低火灾发生时，高温烟流对员工及设备污染的伤害。
