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氦质谱检漏仪

1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。

2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节0点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成全检漏过程。

4.全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦质谱检漏的优越性

氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理， 以氦作示踪气体， 对各种需密封的容器的漏隙进行快速***和定量检测的理想方法。

由于氦是惰性气体， 对大气无污染， 使用比较安全； 而且氦的原子量小、粘度小， 容易渗透过任何可能存在的漏隙， 因此检测灵敏度高、速度快、适用范围广； 另外氦在大气中含量少(仅万分之五) ，检漏仪哪里有， 离子质量与其它气体离子质量相差很大， 不易受干扰， 错判几率小。所以， 与其它诸多检漏方法比， 氦质谱检漏具有的优越性。

随着科学技术的不断发展， 检漏应用技术在不断地更新， 氦质谱检漏技术也在不断扩展到更广阔的领域当中。为提高产品合格率和生产效率， 不应一味沿用的古老且落后的手段处理泄漏问题。

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如何选择真空检漏仪

一．对检漏方法的一般要求

1.检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；

2.反应时间短，可以提高工作效率；

3.能***、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；

4.能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；

5.稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；

6.所用“示踪气体”在空气中含量低，***，不腐蚀零件；

7.检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；

8.检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求

二．选择真空检漏仪检漏方法的原则

1.主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，而必须选用的检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W；

2.根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。

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