电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。电容式位移传感器的这些性能必然促使其应用范围越来越广泛。但是，为实现测量位移目的而设计的电位器，要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。主要用于解决压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等测量问题。
优点：具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。
控制棒是实现反应堆正常启停、功率运行和紧急停止的重要控制装置。当遇到需要停堆的紧急情况时，控制棒以自由落体的方式快速落下，达到停止反应的安全状态。但是控制棒在落棒期间可能遇到卡棒事故，运行期间可能会出现弹棒事故，因此对控制棒的棒位测量至关重要。棒位测量系统使操作人员能够及时发现控制棒是否按照的程序运行和产生故障时的位置，并迅速处理控制棒故障，以确保控制棒的安全运行。磁致伸缩位移传感器是根据磁致伸缩原理制造的高精度、长行程位置测量的位移传感器。控制棒落棒过程为直线下落运动，当使用电容位移传感器测量位移时，能够准确反映电容与位移关系的方程式是知道控制棒在堆芯中位置的关键。
变面积型电容传感器
被测量变化导致动极板移动，引起两极板间有效覆盖面积S的变化，从而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿着长度方向平移Δx时，其电容变化量化为
式中，C0=ε0εrba/d,为初始电容；a为极板长度；b为极板宽度；Δx为极板水平位移。可见ΔC与Δx间成线性关系。
当动极板有一个角位移θ时，与定极板间有效覆盖面积发生变化，从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时有
式中，εr为介质相对介电常数；d0为两极板间的距离；S0为两极板间初始覆盖面积。
当θ=0时
传感器电容量C与角位移θ间成线性关系。
电容式位移传感器具有一般非接触式仪器所共有的非接触式特点外，还具有信噪比高，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂等部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。主要用于解决压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等测量问题。
特点：
1 近距离高的度非接触式位置测量
2 可达亚纳米级直至皮纳米级别分辨率，为世界上所有商用电容传感器中噪音性能***品牌
3 可基于无论是高稳定性和线性还是测量带宽而提供多种型号探头“应用定制化”的优化方案。
4 单一通道或多通道（3U欧洲卡机架安装标准）可选
