另一种情况是净化空调机组仅设粗、中两级过滤，但有足够余压供克服高1效过滤器终阻力及管道阻力。此时高1效过滤器可设在送风管道末端出风口处，对保证送入洁净室空气的洁净度更为有利。
专用净化空调机组国内无定型产品，多数由净化设备厂从空调器生产厂购进压缩机、蒸发排管、冷凝器等散件，另配风压较高、风量较大的风机及各级过滤器，重新设计箱体加工而成。1）手提式压力蒸汽灭菌器灭菌方法：①在主体内加入适量的清水，将灭菌物品放入灭菌器内。在实际工程中应用不多，国内较为普遍的方式是按洁净室需要冷、热负荷量选定空调器，另设带中效过滤器的加压风机箱与空调机组串联，回风大部分接至加压风机箱循环使用，少量回至空调机组与新风一起进行热、湿处理。加压风机箱出口接管道把空气分配到洁净室吊顶上的各高1效过滤器风口，在河北、山东、安徽、湖北及京津多个中、小型药厂车间采用过些种方式，相对而言建设快而且节省。
长三角占据洁净产业高地
长三角地区的高新技术产业的快速发展，为洁净室产业发展提供了地理位置优势、市场竞争优势、技术发展优势、人才整合优势及信息交流优势。
目前，在***产业布局中，长三角地区的电子信息产业已经形成一个高度密集的经济圈，如上海地区目前有漕河泾新兴技术开发区、浦东金桥出口加工区、张江高科技园区等6大电子制造集聚区，一大批IC产业巨头纷纷落户上海，如华虹NEC、中芯国际***IC、上海宏力、贝岭股份、***半导体、英特尔、日月光、台积电等。净化工程具体工艺对温度的要求，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。江苏省目前有苏州高新区、苏州工业园区、南京江宁开发区、昆山开发区等6大电子信息产业基地，世界500强企业近1/3在江苏***，仅苏州地区就有90多家世界500强企业***近200个项目。浙江省以建成“天堂硅谷”为目标，已有杭州湾南崖高附加值IT产业带、宁波保税区、富阳光通信产业特色基地、嘉兴新型元器件生产基地、海宁磁性材料产业基地等。
无尘洁净室技术应用？
无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用 FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。回油时，压力平衡电磁阀关闭，高压电磁阀打开，利用高压将油压回压缩机。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。
无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：
(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;
(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层。
