检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，真空泵公司，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，西安真空泵，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围，蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。随着真空技术在应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，
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