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真空泵在应用的情况下，在真空泵中易产生凝结水，油和水混在一起非常容易使油乳状液霉变，对真空泵造成损害。 
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机械真空泵的特殊工作条件要求真空泵油应具有以下性能：
（1）极低的蒸汽压：这是真空泵油的性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10-4Pa（或10-6mmHg），高的要求达到1.33×10-6Pa（10-8mmHg）以下，这就要求真空泵油的蒸发性极低，而且要求消耗量，以防蒸发。一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸汽压很低的硅油或其它合成油。
二、真空管路或系统内返油
1.缺油
2.抽气口与排气口错误连接
3.供油管线堵塞
4.真空泵出现问题
5.真空泵中外来物堵塞
6.环境温度达到或超过油蒸汽压
7.有蒸汽压低于指标
8.工作气体温度过高
解决方法：
1.加油
2.抽气管线与抽气口连接
3.断开泵连接，清洗并更换符合要求的油
4.修理货更换真空泵油
5.清理真空泵
6.降低环境温度并注意空气流通
7.更换符合要求的真空泵油
8.更改工艺或加冷却系统
