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SF6气体渗漏的主要原因是：安装工艺水平差，零部件密封表面粗糙工艺粗糙、材料选用不当锈蚀、密封圈老化。
SF6气体密封不严漏气。研究表明，密封不严的原因如下：
①密封面紧固螺栓松动。由于安装质量不佳或振动等原因，可能使密封面紧固螺栓松动，因此导致密封不严而引起漏气。
②密封圈老化。现场经验表明，密封圈的老化速度较快，一般在8—10年内就会腐烂，而失去密封效果。从这个角度而言，SF6断路器的检修周期应比规定的检修周期15~20年要短，其实际检修周期应由橡胶密封圈的老化寿命决定。
90%变电站GIS，是停不下负荷的，针对这种处理，甚少有经验的单位处理。目前我所了解和掌握的情况是，设备厂家也是没有带电带压封堵的处理经验，只要求停电处理，停不下负荷漏气，是真正问题所在。
SF6气体泄漏主要发生在以下部位：
1、 法兰盘间的密封渗漏六氟化硫；
2、 压力表接头及密度继电器接头渗漏六氟化硫；
3、 瓷套与法兰盘浇注处SF6泄漏；
4、 密度继电器接线柱SF6渗漏；
5、 阀门内部波纹管SF6漏气；
6、 本体下部传动拉杆密封处六氟化硫渗漏；
7、 GIS外壳渗漏六氟化硫；
8、 GIS操作机构与本体间的传动拉杆动密封处泄漏SF6；
9、 GIS设备的CT二次引出线接线柱六氟化硫泄漏。