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d.与泵腔的接触点到排气口之间的***空间有关,***空间中的气体不能被旋片泵排出泵腔,而会被带回吸气侧,导限压力的升高,泵中的循环泵油填充到***空间,可消除***空间对极限压力的影响。
e.零件的加工精度,运动件之间的间隙,轴端密封等。
2.抽气速率:单位时间内排出气体的体积,单位为L.S-1。
a.名义抽速:旋片泵出厂的标牌抽速。b.几何抽速:旋片泵在额定转速下,单位时间排出的几何容积,与吸气终了时的吸气腔容积,转子的转速,以及旋转一周的吸排气次数有关。c.实际抽速:实际测得的抽速,是入口压力的函数。
3.电机功率:与压缩气体、克服摩擦、过载有关。
结构特点
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静承和动密封的复合分子泵,可以做到完全无油,且不用前级泵直接向大气中排气。分类
复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。
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工作原理
旋片式真空泵多为中小型真空泵。旋片式真空泵有单级旋片真空泵和双级真空泵两种。所谓双级旋片式真空泵,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。
旋片式真空泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和 20%。
图二是双级泵工作原理图,它由两个单级泵串联组成。工作时,被抽气体首先经吸气筒进入高真空级。 当吸入气体压强较高时,一部分气体由排气阀2排出,另一部分气体经低真空级,由排气阀1排出。 当吸入气体压强较低时,虽经高真空级压缩,但排气阀2仍不能打开排气,只能经低真空极继续压缩,由排气阀1排出,因双级泵的极限真空比单级泵高。