真空泵
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真空检漏设备真空检漏设备
罗茨泵从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占***罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场另外,还要考虑到有些***和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得到平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。
分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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真空泵真空设备检漏与维修
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机械安装:⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、***。安装原理图⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保真空泵运转平稳,振动小。⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。)⑷在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的极限压力。⑸按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。⑹真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)⑺对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。⑻如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
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真空泵真空设备检漏维修
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工作条件:
①检漏仪要工作必须使检漏仪内部真空系统正常工作,因此检漏仪机械泵8、分子泵1 和电磁阀V1 串联工作,达到质谱室所需要的高真空,满足离子源可靠工作时即达到检漏仪工作条件,即我们所说的自检通过。
②满足检漏口14 达到1000 Pa 以下,由于真空自耗电弧炉容积约2~3m3,因此无法使用检漏仪自身的真空泵进行炉室抽空,必须使用电弧炉的真空系统作为检漏仪的辅助系统对其抽空,从而满足检漏口1000 Pa 以下的使用要求。
真空检漏设备真空检漏设备
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