金属蚀刻网片平滑度差的原因有哪些?要如何解决呢?下面兴之扬不锈钢网片蚀刻加工小编和大家一起来探讨哦!
杂质含量太高;三氯化铁质量差;活化不良;添加剂含量不足;氯离子浓度太高;磷酸离子浓度低;材料晶粒粗大;解决方法:加强活化过程;定期补加添加剂;添加磷酸;更换溶液;更换材料;
兴之扬是一家专注于精密蚀刻加工的深圳厂家,多年来成长为大型精密蚀刻加工厂。拥有6条自动化蚀刻生产线,日产量可达3000㎡;20余年经验工程师,工艺精湛;进口加工与检测设备,精度高质量稳定;获得ISO9001与ISO14001双证书,同国际化标准接轨,是一家有实力的精密金属蚀刻加工厂家。
兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解什么是干法蚀刻:
电浆干法蚀刻主要应用于集成电路制程中线路图案的定义,通常需搭配光阻的使用及微影技术,其中包括了1)氮化硅(Nitride)蚀刻:应用于定义主动区;2)复晶硅化物/复晶硅(Polycide/Poly)蚀刻:应用于定义闸极宽度/长度;3)复晶硅(Poly)蚀刻:应用于定义复晶硅电容及负载用之复晶硅;4)间隙壁(Spacer)蚀刻:应用于定义LDD宽度;5)接触窗(Contact)及引洞(Via)蚀刻:应用于定义接触窗及引洞之尺寸大小;6)钨回蚀刻(EtchBack):应用于钨栓塞(W-Plug)之形成;7)涂布玻璃(SOG)回蚀刻:应用于平坦化制程;8)金属蚀刻:应用于定义金属线宽及线长;9)接脚(BondingPad)蚀刻等。
影响干法蚀刻特性好坏的因素包括了:1)干法蚀刻系统的型态;2)干法蚀刻的参数;3)前制程相关参数,如光阻、待蚀刻薄膜之沉积参数条件、待蚀刻薄膜下层薄膜的型态及表面的平整度等。
兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来向大家说说干式蚀刻时主要须注意的方面有哪些?
干式蚀刻时主要须注意蚀刻速率、均匀度、选择比及蚀刻轮廓等。蚀刻速率越快,则产能越快,有助于降低成本提升竞争力。蚀刻速率通常可由气体种类、流量、电浆源及功率等所控制,一般而言,在其它因素尚可接受的范围内,蚀刻速率越快越好。均匀度是晶圆上不同位置蚀刻差异的一个指标,均匀度越好意谓着有较佳的良率,当晶圆尺寸越来越大,均匀度的控制就显得更加重要。控制选择比通常与气体种类与比例、电浆源及功率、乃至于反应温度均有关系。蚀刻轮廓一般而言以接近90度为佳,除了少数特例,如接触窗(ContactWindow)或引洞(ViaHole),为了使后续金属溅镀能有较佳的覆盖能力(StepCoverage),因而故意将其轮廓蚀刻成小于90度的型态。而通常蚀刻轮廓的控制可藉由调变气体种类与比例、电浆源及功率等来进行。
兴之扬***T蚀刻不锈钢网小编给大家介绍点蚀是什么?
点蚀又称坑蚀和小孔腐蚀。点蚀有大有小,一般情况下,点蚀的深度要比其直径大的多。点蚀经常发生在表面有钝化膜或保护膜的金属上。由于金属材料中存在缺陷、杂质和溶质等的不均一性,当介质中含有某些活性阴离子(如Cl-)时,这些活性阴离子首先被吸附在金属表面某些点上,从而使金属表面钝化膜发生***。一旦这层金属腐蚀钝化膜被***又缺乏自钝化能力时,金属表面就发生腐蚀。这是因为在金属表面缺陷处易漏出机体金属,使其呈活化状态,而钝化膜处仍为钝态,这样就形成了活性—钝性腐蚀电池,由于阳极面积比阴极面积小得多,阳极电流密度很大,所以腐蚀往深处发展,金属表面很快就被腐蚀成小孔,这种现象被称为点蚀。