蓝宝石的组成为氧化铝(Al2O3),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化***磊晶(GaN)的材料品质,而氮化***磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关,蓝宝石(单晶Al2O3 )C面与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小,同时符合GaN 磊晶制程中耐高温的要求,使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。
蓝宝石衬底规格书
Purity: 99.99%—99.998%
Growth: Kyropolos / HEM
Orientation: C-Plane(0001)/A-Plane(11-20)/R-Plane(1-102)/M-Plane(10-10)N-Plane(11-23)
Off cut: C off A 0-4deg / C off M 0-4deg
Diameter: 2inch / 3inch / 4inch / 6inch / 8inch
Thickness: 430 / 500 / 650 / 1000 / 1500 um
Surface Finish: Epi-Polished / Optical Polished / Fine-Ground ; SSP / DSP
Roughness: Ra<0.3nm / Ra<1.0nm / Ra<1.0um
Package: Class 100 clean room and vacuum nitrogen , 1or25pcs in each cassette