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ST4000-DLX
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·标准模式
·工业规格 ·适合科研中心 |
| 尺寸 | 500 x 610 x 640 mm |
| 重量 | 45Kg |
| 类型 | 手动的 |
| 测量样本大小 | ≤ 8", 12" |
| 测量方法 | 无连接的 |
| 测量原理 | 反射计 |
| 特点 |
测量迅速，操作简单 非接触式，非***方式
Print Function of Each View & Data S***ing
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| 活动范围 | 200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12") |
| 测量范围 | 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) |
| 光斑尺寸 | 40㎛/20㎛, 4㎛(option) |
| 测量速度 | 1~2 sec./site |
| 应用领域 | All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Wafer Measurement & OLED |
| 选项 |
Programmable Auto Z Stage
参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
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| 焦点 | Coaxial Coarse and Fine Focus Controls |
| 附带照明 | 12v 100W Halogen Lamp |